填空题
大规模集成电路的微细制作方法有(),(),(),(),()。
外延生长;氧化;光刻;选择扩散;真空镀膜
填空题 虚拟制造技术是以()、()、()为支持,在产品设计或制造系统的物理实现之前,就能使人体会或感受到未来产品的性能或者制造系统的状态,从而可以作出前瞻性的决策与优化实施方案。
填空题 快速原型制造常用的工艺方法(),(),(),()。
填空题 超高速机床主轴的结构常采用交流伺服电动机内置式集成结构,这种主轴通常被称为()。