问答题
试对比分析扩散工艺和离子注入工艺的特征和特点。
扩散是高温工艺,需要SiO2这样的耐高温硬掩膜,其扩散形成的结深较深。扩散是各向同性的,因此有较大......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 什么是离子注入的沟道效应?消除沟道效应的途径有哪些?
问答题 请阐述扩散的局限性。
问答题 实际氧化工艺为什么要采用先干氧、再湿氧、最后再干氧的氧化方法?