问答题
什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？
沟道效应：对晶体靶进行离子注入，当离子速度方向平行于主晶轴时，将很少受到核碰撞，离子将沿沟道运动，注入深度很深。由于沟道......
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问答题 热退火用于消除离子注入造成的损伤，温度要低于杂质热扩散的温度，然而，杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象，解释其原因。
问答题 什么是离子分布的偏斜度和峭度，和标准高斯分布有什么区别？
问答题 什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？
