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直拉单晶硅工艺学

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填空题

直拉单晶炉电气部分的配电盘是整个直拉单晶炉的(),通过它把电流输送给控制柜。

【参考答案】

总电源

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填空题 直拉单晶炉的电极一般由()制成,两层形成环状,内部通水。

填空题 电极装在炉膛底部,它的作用是支撑(),用于传递强大电流,使被支撑件发热,熔化多晶硅。

填空题 炉膛的样式比较多,大体上分()和()两种形式。

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