填空题
超精密机床主轴的驱动方式主要有电动机通过带传动驱动、（）和（）三种。
电动机通过柔性联轴器驱动；采用内装式同轴电动机驱动
填空题 电火花型腔加工的工艺方法有：（）、（）、（）、（）等。
填空题 精密与特种按加工方法可分为（）、（）、（）和（）四大类。
填空题 精密和超精密磨料加工分为（）加工和（）加工两大类。
