单项选择题 磁控二极溅射与射频二极溅射相比，具有（）两大特点。

单项选择题 冷泵的结构分叶片﹑冷凝面﹑（）材料三层，它是利用对气体的低温凝结和低温吸附实现抽气目的。

单项选择题 罗茨泵转子与泵体，转子与转子之间保持约（）mm间隙，不需油润滑和密封，无摩擦。