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半导体材料

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问答题

简答题

详述影响硅外延生长速率的因素。

【参考答案】

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问答题 每拉出g=1/2处,ρ=1Ω·cm的硅单晶锭100g,所用的硅是区熔硅(即纯硅),问要掺杂质硼多少克?

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