单项选择题 如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。

单项选择题 用电容－电压技术来测量扩散剖面分布是用了（）的原理。

单项选择题 在确定扩散率的实验中，扩散层电阻的测量可以用（）测量。