单项选择题
铜互连金属多层布线中,磨料的粒径一般为()。
A.5~10nm B.20~30nm C.50~80nm D.100~200nm
单项选择题 在酸性浆料中,最常使用的氧化剂为()。
单项选择题 在新一代的CMP中,有使用()磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。
单项选择题 金相学的研磨之所以会在研磨面上造成如刮伤般的痕迹是由于在制程中()。