单项选择题 对人体有一定程度伤害的电源是（）。

单项选择题 在给定时间间隔内，沉积在基片上的材料量除以该时间间隔和基片面积来表征（）值。

单项选择题 溅射装置中由溅射材料所组成的电极是（）。