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多项选择题
镀膜基板的输送方法都有（）。
A.单腔类型
B.interback类型
C.inline类型
D.multi-chamber类型 -
多项选择题
涡轮分子泵的构成包含哪些组件？（）
A.泵壳
B.动翼/静翼
C.驱动马达
D.一体型转子 -
多项选择题
离子溅射泵的构成包含哪些组件？（）
A.高电压电源
B.磁铁
C.Ti阴极板
D.阳极管
