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多项选择题
半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。
A.氧化
B.改变导电类型
C.涂层
D.改变材料性质
E.镀膜 -
单项选择题
硅烷的分子式是（）。
A.SiF4
B.SiH4
C.CH4
D.SiC -
多项选择题
去正胶常用的溶剂有（）
A.丙酮
B.氢氧化钠溶液
C.丁酮
D.甲乙酮
E.热的氯化碳氢化合物
