多项选择题
超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有很高的（）。
A.稳定性
B.耐磨性
C.抗振性
D.可靠性
E.气密性
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多项选择题
微位移系统应用于（）。
A.微进给
B.误差补偿
C.精密调整
D.精加工
E.抛光 -
多项选择题
实现超精密切削加工对刀具性能的要求是：（）。
A.极高的硬度和耐磨性
B.刃口及其锋利
C.刀刃无缺陷
D.与工件材料的抗粘接性好
E.摩擦系数低 -
多项选择题
超精密加工机床的总体布局形式主要有以下几种：（）等。
A.T形布局
B.十字形布局
C.R-θ布局
D.立式结构布局
E.横式结构布局
