问答题
简答题
为什么晶体晶格离子注入工艺后需要高温退火？使用RTA退火有什么优点？
【参考答案】
消除晶格损伤，恢复载流子寿命以及迁移率，激活一定比列的掺杂原子。
降低了退火温度或者说减少了退火时间，减少了退......
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