问答题
简答题
解释亮场掩膜版和暗场掩膜版。
【参考答案】
如果一个掩膜版,其石英板上大部分被铬覆盖,它就指的是暗场掩膜版。亮场掩膜版有大面积的透明的石英,而只有很细的铬图形。
点击查看答案