问答题
简答题
列出热氧化物的硅片制造的六种用途，并给出各种用途的目的。
【参考答案】
金属层间绝缘阻挡层：用做金属连线间的保护层。
注入屏蔽氧化层：用于减小注入够到和损伤。
势氧化层：做......
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