单项选择题
下列哪项是真空腔体压力上升漏率测试的结果？（）
A.1.38×10-5Pa·m3
B.1.38×10-5Pa·m3/s
C.1.38×10-5m3/s
D.1.38×10-5rpm
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单项选择题
锐敏化时哪种元素缺乏会造成耐蚀能力降低？（）
A.Cr
B.C
C.Ni
D.Fe -
单项选择题
测量输出信号与气体种类无关的绝对压力的是什么类型的真空计？（）
A.测量机械力
B.利用气体导热
C.利用气体摩擦
D.测量气体分子数量 -
单项选择题
离子注入机剂量（Dose量）解释说明正确的是（）。
A.剂量（Q）是单位面积基板表面注入离子数量的多少
B.剂量的单位是离子每平方厘米
C.剂量的大小跟束流的大小和注入时间成正比
D.其余都是
