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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

填空题

为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，与之相对应的必然是石英坩埚（），直拉单晶炉设备（）。

    【参考答案】

    大直径化和大投料量；大型化和自动化

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