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单项选择题
溅射现象中从靶材飞向空间的是（）。
A.一次电子
B.反射带电原子
C.靶材的中性粒子
D.带电粒子 -
单项选择题
四重极型质量分析仪离子分离部由几根电极组成？（）
A.1根
B.2根
C.3根
D.4根 -
单项选择题
太阳能电池CIM设备有哪些缺点？（）
A.成膜时会大量产生副生成物
B.容易爆炸
C.容易火灾
D.其余都是
