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单项选择题
下列哪种真空计属于基于气体输送现象的真空计?()
A.电离真空计
B.液柱差计
C.热传导真空计
D.压力表 -
单项选择题
半导体加工过程中,需要反复多次进行的工艺过程有()。
A.金属成膜PVD
B.绝缘成膜CVD
C.绝缘膜刻蚀
D.其余都是 -
单项选择题
关于油回转真空泵里油的作用,描述正确的是哪个?()
A.滑动部的润滑
B.有助于泵体的冷却
C.确保气密性
D.减少死空间的影响
E.以上都正确