问答题
简答题
什么是光刻？光刻的主要流程有哪些？
【参考答案】
光刻就是通过一系列生产步骤，将晶圆薄膜的特定部分去除的工艺。
流程有晶圆涂光刻胶、曝光、显影、烘干。
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