问答题
简答题
90年代以前，哪些因素影响铜用于IC工艺
【参考答案】
器件尺寸；器件密度；化学机械研磨工艺；多重金属连线；
铝金属的电导率在金属中排第四，仅次于银、铜、金。铝是这四......
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