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问答题

简答题

简述热蒸镀(真空蒸发)膜与离子溅射膜的区别和优缺点。

    【参考答案】

    粒子具有的动能不同:蒸镀膜所沉积的粒子有较低的动能,而溅射出来的粒子有很高的动能,比蒸发高1~2个数量级。
    粒......

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