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单项选择题
外给电子体（硅烷）的流量是通过（）控制。
A.自动
B.手动
C.通过AL/Mg比串级
D.通过AL/Si比串级 -
单项选择题
外给电子体（硅烷）的输送介质是（）
A.液相丙烯
B.气相丙烯
C.低压氮气
D.高压氮气 -
单项选择题
三乙基铝的输送介质是（）
A.液相丙烯
B.低压氮气
C.气相丙烯
D.高压氮气
