名词解释
MEMS
【参考答案】
即微机电系统，指随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，可批量制作的，集微型机构、微型传感......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
