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单项选择题
哪种材料可以经济稳定地供给半导体产业？（）
A.Si H4
B.HS
C.F
D.Si -
单项选择题
一般溅射设备的靶材是接在电源的哪里？（）
A.阳极
B.阴极
C.Arc侧
D.信号侧 -
单项选择题
MOCVD是以什么为原料？（）
A.特殊气体
B.有机金属
C.无机物
D.其余都是
