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直拉单晶硅工艺学
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填空题
相对来说，生产的单晶硅的电阻率越低，需要用在硅中（）的元素进行掺杂。
【参考答案】
固溶度大
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不同杂质在硅中的固溶度差别很大。两种元素原子半径差别越大，溶解度（）；原子外层电子数差别越大，溶解度（）。
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