多项选择题
在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。
A.CA光刻胶对深紫外光吸收小
B.CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
C.CA光刻胶在显影液中的可溶性强
D.有较高的光敏度
E.有较高的对比度
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单项选择题
在深紫外曝光中，需要使用（）光刻胶。
A.DQN
B.CA
C.ARC
D.PMMA -
单项选择题
在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。
A.化学增强
B.化学减弱
C.厚度增加
D.厚度减少 -
多项选择题
关于正胶和负胶的特点，下列说法正确的是（）。
A.正胶在显影时不会发生膨胀，因此分辨率高于负胶
B.正胶的感光区域在显影时不溶解，负胶的感光区域在显影时溶解
C.负胶在显影时不会发生膨胀，因此分辨率不会降低
D.正胶的感光区域在显影时易溶解，负胶的感光区域在显影时难溶解
E.负胶在显影时会发生膨胀，导致了分辨率的降低
