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多项选择题

扫描电子显微镜分析法是用聚焦电子束轰击样品,以获取次级电子、背散射电子、透射电子、()及不同能量子的信号,采用其成像电子信号,特别是次级电子信号来获取物质表面形态的信息。

    A.样品电流
    B.束感生电流
    C.特征x 射线
    D.饿歇电子

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