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直拉单晶硅工艺学
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填空题
采用母合金作为掺杂剂，主要是为了（），从而达到（）的目的。
【参考答案】
“稀释杂质”；更容易、更准确的控制电阻率
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填空题
常用的母合金有硅磷母合金和硅硼母合金。杂质浓度一般大于（）个原子/cm3（电阻率为10-2～10-3欧姆•厘米）。
填空题
拉制电阻率较高硅单晶1～102欧姆•厘米，采用（）作掺杂剂，即就是（）与硅的合金。
填空题
拉制硅单晶的电阻率范围不同，掺杂剂的形态也不一样，拉制低电阻率10-2～10-4欧姆•厘米的P型硅单晶，一般掺（）。
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