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直拉单晶硅工艺学
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填空题
生长系统中的温度分布中,任何品种单晶生长都需要()对称。
【参考答案】
径向
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填空题
按照生长界面处的温度梯度,一般采用()的界面生长单晶时,有助于改善单晶的性能。
填空题
一般说来,掺杂量大的单晶比掺杂量较少的单晶需要的温度梯度()。
填空题
生长系统中的温度分布(等温面的状况)对单晶的()有决定性的影响,然而()的单晶,对热场的要求也不同。
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