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多项选择题
按加热源的不同,可以分成()几种不同类型的蒸发。
A.真空蒸发
B.离子束蒸发
C.电子束蒸发
D.粒子束蒸发
E.常压蒸发 -
单项选择题
电子束蒸发的设备中产生电子束的装置称为()。
A.电子源
B.电子泵
C.电子管
D.电子枪 -
单项选择题
用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料,是形成电极的()。
A.重要步骤
B.次要步骤
C.首要步骤
D.不一定
