问答题
简答题
影响CVD薄膜参数主要是哪些？
【参考答案】
C.VD中影响薄膜质量的主要工艺参数有沉积温度、反应气体组成、工作气压、基板温度、气体流量等。其中温度是最重要的影响因素......
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