问答题
简答题
说明扩散杂质的余误差函数分布特点（恒定表面源扩散属于此分布）
【参考答案】
①杂质表面浓度由该种杂质在扩散温度下的固溶度所决定。当扩散温度不变时，表面杂质浓度维持不变；
②扩散时间越长，......
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