问答题
简答题
解释曝光后烘烤的目的。PEB（曝光后烘烤）烘烤过度和不足会产生什么问题？
【参考答案】
目的：降低驻波效应
不足：无法消除驻波效应，影响分辨率。
过度：造成光刻胶的聚合作用，影响显影过程，导致图形转移失败。
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