问答题
简答题
描述沟道效应。列举并简要解释控制沟道效应的三种机制。
【参考答案】
当注入离子未与硅原子碰撞减速，而是穿透了晶格间隙时，就发生了沟道效应。
三种机制：
1.倾斜硅片：它......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
-
问答题
列举离子注入设备的5个主要子系统。 -
问答题
离子注入的主要缺点是什么？如何克服？ -
问答题
列举离子注人优于扩散的7点。
