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多项选择题
实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。
A.超精密加工机理与工艺方法
B.超精密加工机床设备
C.超精密加工工具
D.测量补偿
E.误差补偿 -
单项选择题
纳米技术是指纳米级（）nm的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术。
A.0.01-10
B.0.1-100
C.1-1000
D.10-10000 -
单项选择题
空气洁净度是按空气中每立方米含直径大于（）μm的尘粒数来分等级。
A.2.5
B.1.5
C.1.0
D.0.5
