问答题
论述题
下图为硅外延生长速度对H2中SiCL4摩尔分量的函数曲线，试分析曲线走势，并给出其变化的原因。
【参考答案】
SiCL4浓度较小，SiCL4被氢还原析出硅原子的速度远小于被释放出来的硅原......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
