问答题
简答题
说明退火的目的和特点？
【参考答案】
①目的：
A.修复晶格损伤
B.注入杂质电激活：注入的杂质多以填隙式方式存在于硅中，无电活性。退火，......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
-
问答题
简述离子注入的原理？ -
问答题
为什么要引入离子注入技术，离子注入技术有哪些优势？ -
问答题
影响扩散速率的因素有哪些？
