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直拉单晶硅工艺学
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填空题
区熔法由于不使用坩埚,污染少,经区熔提纯后生长的()较高,()和()低。
【参考答案】
硅单晶纯度;含氧量;含碳量
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填空题
一般情况下,直拉法拉制的硅单晶电阻率大于()欧姆•厘米,质量很难控制。
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