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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

问答题

简答题

怎样使用旋片真空泵和扩散泵,使用时应注意哪些问题?

    【参考答案】

    扩散泵不能单独使用,一般和前置泵(旋片真空泵)配合使用,将系统达到一定予真空后才能开启扩散泵,否则,扩散泵油会氧化,失去......

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