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直拉单晶硅工艺学
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填空题
用作拉硅单晶原料时，P型多晶硅含硼量小于（）个原子/cm
3
，P型电阻率大于（）。
【参考答案】
4.5×10
12
；3000欧姆•厘米
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填空题
用作拉硅单晶原料时，N型多晶硅含磷量小于（）个原子/cm3，N型电阻率大于（）。
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填空题
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