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单项选择题
沾污引起的电学缺陷引起（），硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。
A.不会影响成品率
B.晶圆缺陷
C.成品率损失
D.晶圆损失 -
多项选择题
沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片（）的不希望有的物质。
A.功能
B.成品率
C.物理性能
D.电学性能
E.外观 -
多项选择题
净化室将硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如（）的沾污。
A.颗粒
B.金属
C.有机分子
D.静电释放（ESD）
E.水
