多项选择题
超精密机床主轴的驱动方式主要有（）。
A.电动机通过带传动驱动
B.电动机通过柔性联轴器驱动
C.采用内装式同轴电动机驱动
D.采用外装式同轴电动机驱动
E.电动机通过刚性联轴器驱动
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多项选择题
洁净室是指将室内空气中（）的分布形式及其形状等控制在一定范围内的房间。
A.尘埃微粒
B.温度
C.压力
D.流速
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A.切削加工
B.磨削加工
C.研磨加工
D.抛光加工
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多项选择题
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A.恒温
B.恒湿
C.防振
D.超净
E.噪声
