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多项选择题
RF电源生成等离子的方式有（）。
A.介电耦合
B.电感耦合
C.介电耦合+电感耦合
D.整合 -
多项选择题
DC电源放电工作时不能输出高于自身规定的（）。
A.额定电压
B.额定电流
C.额定电阻
D.额定ARC -
多项选择题
检漏仪的复合分子泵是由（）构成。
A.涡轮分子泵
B.牵引分子泵
C.涡旋泵
D.离子泵
