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直拉单晶硅工艺学
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填空题
为了促进生长界面稳定,可采用下列办法。系用较大的(),较慢的()和较小的()。
【参考答案】
温度梯度;生长速度;溶质浓度
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填空题
晶体生长实验证明,导致界面不稳定原因主要由()、()、()因素引起的。
填空题
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填空题
晶体生长过程中,移动的生长界面将不可避免地出现干扰,()理论把微干扰在生长界面重迭行为考虑在内,界面出现任何周期干扰都可以用正弦函数的富氏级数表示。
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