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直拉单晶硅工艺学
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填空题
生长单晶时,除了宏观上考虑界面形状,另外还考虑界面上有无小晶面出现,液体()强弱,结晶体系()等,这些都是界面稳定性的问题。
【参考答案】
对流;热稳定性
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填空题
生长单晶时,最关心的是在宏观尺寸上的固液界面是()、()还是()看,是考虑界面稳定性的参考标准。
填空题
非完整突变光滑界面生长不需要(),晶体以位错露头点作生长源进行生长,原子或分子的()和()主导生长速率,可用非完整突变光滑面生长机制解释。
填空题
完整突变光滑界面的生长是单原子或分子运动过程,二维晶核的()起支配作用,由液相生成晶体时,一个独立的原子或分子一个接一个地堆积。
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