单项选择题
He,OH,Na等元素在900℃下,在二氧化硅中的扩散率大于10-13cm2/s,这些元素称为()。
A.活跃杂质
B.快速扩散杂质
C.有害杂质
D.扩散杂质
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单项选择题
如果磷在二氧化硅中扩散,对扩散率影响最大的因素是:()。
A.扩散剂总量
B.压强
C.温度
D.浓度 -
单项选择题
用电容-电压技术来测量扩散剖面分布是用了()的原理。
A.pn结理论
B.欧姆定律
C.库仑定律
D.四探针技术 -
单项选择题
在确定扩散率的实验中,扩散层电阻的测量可以用()测量。
A.SIMS技术
B.扩展电阻技术
C.微分电导率技术
D.四探针技术
