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单项选择题
通过在Ar气体中导入（）等气体进行溅射，可以形成化合物薄膜。
A.氮，氧
B.氩，氦
C.氦，氯
D.氩，氯 -
单项选择题
下列哪项是离子注入设备产品的领域？（）
A.燃油车，电动车
B.太阳能电池，风力发电
C.高铁，家电制品
D.其余都是 -
单项选择题
Cat-CVD的气体是通过什么反应成膜的？（）
A.Heater上热分解
B.电离成等离子体
C.不同气体化学反应
D.触媒线上热分解
