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直拉单晶硅工艺学
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填空题
FZ工艺生产中的掺杂工艺，目前常规的有（）、（）、（）三种方式。
【参考答案】
有直接掺杂法（涂抹法）；气相掺杂法；中子嬗变法（NTD）法
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